精密接觸傳感器：首先不同行業(yè)對(duì)精密的定義不甚一樣。其中主要設(shè)計(jì)的概念包括精度，分辨率和重復(fù)性。精度也稱線性度，或者絕對(duì)誤差。指傳感器測量值偏離理論真實(shí)值的最大偏差。分辨率指傳感器能夠產(chǎn)生輸出變化所需的最小位移變化量。重復(fù)性指傳感器反復(fù)測量同一位置，測量值之間的變化量。高端精密電容位移傳感器，精度可達(dá)納米級(jí)別。分辨率會(huì)更小，重復(fù)性很大程度上取決于傳感器是否有好的溫度補(bǔ)償功能和環(huán)境的穩(wěn)定性。電容傳感器目前國際上比較高端的牌子有德國米銥和美國MTI, 當(dāng)然價(jià)格也會(huì)相對(duì)高一些。如果是真的需要超高性能的領(lǐng)域，如精密零件的測量，精密機(jī)構(gòu)的移動(dòng)（如光刻機(jī)定位）等，還是要采用高端的傳感器。
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